Anisotropic Stress Effect on Aluminum Doped Zinc Oxide Films Produced from In-Line Sputtering
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- 資料識別：
- A10020649
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張慎周(Chang， Shang-chou) 洪上超(Hung， Shang-chao) 陳柏佑(Chen， Bo-you) 林天財(Lin， Tien-chai)
- 主題與關鍵字：
- 應力 直線式連續濺鍍機 氧化鋅摻鋁 Stress In-line sputtering Aluminum doped zinc oxide
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:22:3 2009.09[民98.09]
- 頁次:頁27-31
- 日期：
- 20090900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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