熱離化輔助直流磁控濺鍍氧化銦錫薄膜的光學與電氣特性之研究
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- 資料識別：
- A10020468
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 藍銀鋒(Lan， Y. F.) 王文生(Wang， W. S.) 陳佩均(Chen， P. C.) 何主亮(He， J. L.)
- 主題與關鍵字：
- 氧化銦錫薄膜 熱離化輔助 直流磁控濺鍍 ITO thin films Thermionic emission enhancement DC magnetron sputtering
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:21:1-2 2008.06[民97.06]
- 頁次:頁6-15
- 日期：
- 20080600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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