斜向製鍍非均向性氟化鎂薄膜微結構與應力之研究
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- 資料識別：
- A10020436
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 沈威廷 江政忠 李正中 劉旻忠 卓文浩
- 主題與關鍵字：
- 氟化鎂薄膜 斜向蒸鍍 蒸度角度 柱狀傾斜角度 應力 微觀結構
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:20:1 2007.10[民96.10]
- 頁次:頁59-62
- 日期：
- 20071000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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