以不同工作氣體進行離子輔助熱蒸鍍MgF₂薄膜之XPS分析研究
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- 資料識別：
- A10020429
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 徐進成 陳黃祿
- 主題與關鍵字：
- 六氟化硫 SF₆ 離子輔助熱蒸鍍 IAD X射線光電子能譜 X-ray photoelectron spectroscopy MgF₂
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:20:1 2007.10[民96.10]
- 頁次:頁44-47
- 日期：
- 20071000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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