奈米積體電路薄膜元件之真空電漿表面改質與全程電化學孔渠填充研究
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- 資料識別：
- A10020426
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 謝逸弘 許佩雯 陳松德 陳錦山
- 主題與關鍵字：
- 真空電漿表面改質 全程濕式電化學製程 晶種分布密度 薄膜表面覆蓋率
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:20:1 2007.10[民96.10]
- 頁次:頁28-35
- 日期：
- 20071000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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