以脈衝式直流磁控濺鍍法製鍍二氧化矽之光學特性及沉積速率研究
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- 資料識別：
- A10020424
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林金仕(Lin， C. S.) 江忠憲(Chiang， C. H.) 唐謙仁(Tang， C. J.)
- 主題與關鍵字：
- 反應性脈衝磁控濺鍍 雙極性脈衝 二氧化矽
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:20:1 2007.10[民96.10]
- 頁次:頁22-27
- 日期：
- 20071000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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