射頻濺鍍功率對氧化鋅薄膜機械性質之影響
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- 資料識別：
- A10020422
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 魏中聖 蕭俊卿 沈弘俊
- 主題與關鍵字：
- 真空射頻濺鍍系統 氧化鋅薄膜 掃描電子顯微鏡 濺鍍功率 SEM ZnO
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:20:1 2007.10[民96.10]
- 頁次:頁15-21
- 日期：
- 20071000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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