CMOS MEMS製程平臺於微感測器之應用
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- 資料識別：
- A10001875
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 方維倫(Fang， Weileun) 孫志銘(Sun， Chih-ming) 蔡明翰(Tsai， Ming-han) 劉育嘉(Liu， Yu-chia)
- 主題與關鍵字：
- CMOS MEMS製程平臺 微感測器
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:31:2=172 2009.10[民98.10]
- 頁次:頁80-89
- 日期：
- 20091000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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