大面積模組沉積製作技術(上)
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- 資料識別：
- A10019303
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳興華(Wu， H. H.) 王友志(Wang， Y. C.) 洪凱祥(Hung， K. H.) 郭威廷(Kuo， W. T.) 李炯男(Li， C. N.) 潘彥妤(Pan， Y. Y.) 陳俊亨(Chen， C. H.) 葉峻銘(Yeh， C. M.) 陳頤承(Chen， Y. C.)
- 主題與關鍵字：
- 大面積量產 矽薄膜 設備 沉積技術 Large area mass production Silicon thin film Equipment Deposition techology
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:281 2010.05[民99.05]
- 頁次:頁123-129
- 日期：
- 20100500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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