TFT LCD廠自動化之非接觸式氣浮傳送技術
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- 資料識別：
- A10016886
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄭璧瑩 楊敬明
- 主題與關鍵字：
- 平面顯示器 玻璃基板 氣浮平臺 搬運系統 多孔質氣浮
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:16:5=178 2010.05[民99.05]
- 頁次:頁75-86
- 日期：
- 20100500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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