類LIGA製程應用於微光開關之研製
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- 資料識別：
- A10014525
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 趙俊傑 楊啟榮
- 主題與關鍵字：
- 微機電 光開關 厚膜光阻技術 SU-8技術
- 描述：
- 來源期刊:沙鹿高工學報
- 卷期:12 民93.05
- 頁次:頁53-62
- 日期：
- 20040500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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