A MEMS-based Benzene Gas Sensor with WO₃ Sensing Layer and Integrated Micro-hotplate
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- 資料識別：
- A10013166
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 柯明村(Ke， Ming-tsun) 江哲銘(Chiang， Che-ming) 李佳言(Lee， Chia-yen)
- 主題與關鍵字：
- 苯 氣體感測器 微加熱器 微機電系統 氧化鎢薄膜 Benzene Gas sensor Micro-hotplate MEMS WO₃ thin film
- 描述：
- 來源期刊:先進工程學刊
- 卷期:4:2 2009.04[民98.04]
- 頁次:頁119-125
- 日期：
- 20090400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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