化學機械拋光鑽石修整器修整率模式與工業上的應用
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- 資料識別：
- A10011316
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊宏智 鄭偉祥 陳鯤仁 蕭啟明
- 主題與關鍵字：
- 鑽石修整器 修整率 化學機械拋光
- 描述：
- 來源期刊:機械月刊
- 卷期:35:10=411 2009.10[民98.10]
- 頁次:頁61-71
- 日期：
- 20091000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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