a-Si:H TFT SiN□介電層製程改善
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- 資料識別：
- A10011110
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳炳茂(Chen， B. M) 謝育霖(Shieh， Y. L.) 鄒一德(Zou， Y. D.) 劉柏村(Liu， P. T.)
- 主題與關鍵字：
- 非晶矽薄膜電晶體 介電層 電壓應力 缺陷池模型 NH₃/SiH₄ a-Si TET Dielectric layer Voltage bias stress Defect poor mode
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:36:1 2010.02[民99.02]
- 頁次:頁33-41
- 日期：
- 20100200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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