與CMOS製程相容的微機電垂直探針卡
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- 資料識別：
- A09008364
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳榮根 李郭昱 許后竣 吳昌修 黃榮堂
- 主題與關鍵字：
- CMOS製程 微機電製程 微電鑄 晶圓級探針卡 MEMS
- 描述：
- 來源期刊:微系統暨奈米科技協會會刊
- 卷期:20 2008.12[民97.12]
- 頁次:頁19-30
- 日期：
- 20081200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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