檢測光源角度對於低溫多晶矽膜再結晶特性影響之研究與分析
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- 資料識別：
- A09073821
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全
- 主題與關鍵字：
- 線上光學檢測系統 檢測光源角度 準分子雷射退火 矽膜再結晶特性
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:15:11=172 2009.11[民98.11]
- 頁次:頁140-149
- 日期：
- 20091100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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