High-k/Metal Gate於奈米電晶體元件之特性應用
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- 資料識別：
- A09073758
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 葉文冠 許家維
- 主題與關鍵字：
- 高介電常數 金屬閘極 場效電晶體
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:15:9=170 2009.09[民98.09]
- 頁次:頁117-127
- 日期：
- 20090900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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