雙傾斜之影像疊合法量測100nm以下線寬技術研究
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- 資料識別：
- A09072956
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉惠中 潘善鵬 陳朝榮 陳智榮 陳炤彰
- 主題與關鍵字：
- 原子力顯微鏡 關鍵尺寸 線寬量測
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:15:8=169 2009.08[民98.08]
- 頁次:頁86-95
- 日期：
- 20090800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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