雙傾斜之影像疊合法量測100nm以下線寬技術研究

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資料識別:
A09072956
資料類型:
期刊論文
著作者:
劉惠中 潘善鵬 陳朝榮 陳智榮 陳炤彰
主題與關鍵字:
原子力顯微鏡 關鍵尺寸 線寬量測
描述:
來源期刊:電子月刊
卷期:15:8=169 2009.08[民98.08]
頁次:頁86-95
日期:
20090800
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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