平面顯示器7.5代玻璃基板氣壓平衡式升降系統設計分析及伺服定位控制之研究
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- 資料識別：
- A09006809
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 江茂雄 陳偉杰 謝宏村 江友良
- 主題與關鍵字：
- 結構分析 函數近似 適應性滑動控制 伺服定位 氣壓平衡 ANSYS
- 描述：
- 來源期刊:機械月刊
- 卷期:34:11=400 2008.11[民97.11]
- 頁次:頁73-82
- 日期：
- 20081100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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