矽晶片與低介電材料之介面應變能釋放率驗證分析
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- 資料識別：
- A09071340
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 謝明哲 鄭智元 李暐 譚瑞敏
- 主題與關鍵字：
- 矽晶片 低介電材料 介面應變能釋放率 導通孔結構 TSV
- 描述：
- 來源期刊:電光先鋒
- 卷期:12 2009.08[民98.08]
- 頁次:頁67-74
- 日期：
- 20090800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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