熱均壓封罐製程對Cr-Si濺鍍靶材性質之探討
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- 資料識別：
- A09068056
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張世賢(Chang， S. H.) 譚中雄(Tam， C. H.) 李世欽(Lee， S. C.) 戴豐成(Tai， F. C.)
- 主題與關鍵字：
- 粉末冶金 熱壓 熱均壓封罐 濺鍍靶材 Powder metallurgy HP HIP canning Sputtering target
- 描述：
- 來源期刊:鑛冶
- 卷期:53:3=207 2009.09[民98.09]
- 頁次:頁39-45
- 日期：
- 20090900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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