先進雷射技術製作光子晶體結構
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- 資料識別：
- A09064339
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張天立 羅紹維 蘇志杰 謝志瑋 賴文郎 周大鑫 林宏彝
- 主題與關鍵字：
- 先進製造 雷射加工製程 雷射干涉微影 飛秒雷射加工 光子晶體 微／奈米結構 Advanced manufacturing Laser machining process Laser interference lithography Femtosecond laser machining Photonic crystals Micro/nanostructures
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:318 2009.09[民98.09]
- 頁次:頁58-68
- 日期：
- 20090900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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