使用金屬閘極或多晶矽閘極在HfSiON絕緣層上之元件電性研究
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- 資料識別：
- A09063781
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳啟文(Chen， Chii-wen) 葉郁龍(Yeh， Yu-long) 賴信誠(Lai， Hsin-cheng) 葉文冠(Yeh， Wen-kuan) 陳育廷(Chen， Yu-ting)
- 主題與關鍵字：
- 閘極穿遂漏電流 高介電係數材料 金屬閘極 Direct-tunneling current High-k material Metal gate
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:35:2 2009.08[民98.08]
- 頁次:頁19-24
- 日期：
- 20090800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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