以電荷汲引技術測量金氧半電晶體之High-k邊緣陷阱縱深及能量分佈與可靠度分析
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- 資料識別：
- A09063664
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 呂君章 張師誠 張廖貴術
- 主題與關鍵字：
- 高介電層 電荷汲引 邊緣陷阱 可靠度 High-k dielectric Charge pumping Border trap Reliability
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:15:5=166 2009.05[民98.05]
- 頁次:頁141-153
- 日期：
- 20090500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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