淺談MEMS麥克風封裝技術
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- 資料識別：
- A09063609
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王欽宏(Wang， C. H.) 李新立(Lee， H. L.)
- 主題與關鍵字：
- 熱膨脹係數 荷姆茲共振器 微機電麥克風 CTE Helmholtz resonator MEMS microphone
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:273 2009.09[民98.09]
- 頁次:頁158-166
- 日期：
- 20090900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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