以射頻磁控濺鍍製備p型類鑽碳薄膜之研究

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資料識別:
A09063425
資料類型:
期刊論文
著作者:
林家綸(Lin, C. L.) 蒲瑞臻(Pu, J. C.) 王錫福(Wang, S. F.) 王錫九(Wang, S. J.) 吳玉娟(Wu, Y. C.) 徐開鴻(Hsu, K. H.) 宋健民(Sung, James C.)
主題與關鍵字:
射頻磁控濺鍍 類鑽碳 摻雜 Diamond-like carbon Boron doping Sputtering Hall effect
描述:
來源期刊:陶業
卷期:28:3 2009.07[民98.07]
頁次:頁60-69
日期:
20090700
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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