兆赫茲電磁輻射應用於單晶矽晶圓之穿透研究
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- 資料識別：
- A09063095
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張鮮文(Chang， Shian-wen) 陳柏荔(Chen， Po-li) 翁俊仁(Weng， Chun-jen) 楊智仲(Yang， Jr-jung) 白世璽(Pai， Shyh-shii)
- 主題與關鍵字：
- 兆赫茲電磁輻射 單晶矽晶圓 超短脈衝雷射
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:30:4=168 2009.02[民98.02]
- 頁次:頁69-81
- 日期：
- 20090200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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