光固化型奈米壓印微影之石英母模製備及表面處理
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- 資料識別：
- A09006082
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李冠霖(Lee， Guan-lin) 李英群(Lee， Ying-chun) 謝志誠(Shieh， Jyh-cherng)
- 主題與關鍵字：
- 光固化型奈米壓印微影 石英 脫模層 電子束微影 反應性離子蝕刻 Photo-curing nanoimprint lithography technology Quartz template Release layer Electron-beam lithography Reactive ion etch
- 描述：
- 來源期刊:農業機械學刊
- 卷期:16:2 2007.06[民96.06]
- 頁次:頁13-24
- 日期：
- 20070600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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