製備摻雜鎵鋁氧化鋅陶瓷靶材以射頻磁控濺鍍系統沉積透明導電薄膜之光電性質研究
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- 資料識別：
- A09061324
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 戴念澤(Tai， Nien-tse) 翁文彬(Weng， Wen-pin)
- 主題與關鍵字：
- 透明導電薄膜 陶瓷靶材 GZO AZO Transparent conductive thin film Ceramic target
- 描述：
- 來源期刊:龍華科技大學學報
- 卷期:27 2009.06[民98.06]
- 頁次:頁65-74
- 日期：
- 20090600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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