自我補償式蘭牟爾探針之製作與量測
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- 資料識別：
- A09061315
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉沖明(Liu， Chung-ming) 吳峰賓(Wu， Feng-pin) 宋大崙(Sung， Ta-lun)
- 主題與關鍵字：
- 感應式偶合電漿 電漿診斷 射頻電漿 Langmuir probe Induced couple plasma ICP Plasma diagnosis RF plasma
- 描述：
- 來源期刊:龍華科技大學學報
- 卷期:27 2009.06[民98.06]
- 頁次:頁19-25
- 日期：
- 20090600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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