電感式耦合電漿源之技術探討與專利分析
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- 資料識別：
- A09061268
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王登彥 張均豪 林東穎
- 主題與關鍵字：
- 電感式耦合電漿 高密度電漿 Inductively coupled plasma High density plasma
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:315 2009.06[民98.06]
- 頁次:頁59-70
- 日期：
- 20090600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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