應用於ZnO薄膜沉積系統中之雙通道氣體擴散裝置模擬分析
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- 資料識別：
- A09061204
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張家豪 黃智勇 江銘通 張永光
- 主題與關鍵字：
- 低壓化學氣相沉積 透明導電玻璃 氣體流場分佈 電腦模擬 薄膜太陽電池 Low pressure chemical vapor deposition Transparent conductive glass TCO Air flow distribution Computer simulation Thin film solar cell
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:314 2009.05[民98.05]
- 頁次:頁96-103
- 日期：
- 20090500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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