射頻電容耦合電漿源中的電漿電位
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- 資料識別：
- A09061202
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張志振
- 主題與關鍵字：
- 電容耦合電漿源 射頻 電漿電位 CCP RF Plasma potential
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:314 2009.05[民98.05]
- 頁次:頁88-95
- 日期：
- 20090500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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