應用於微晶矽薄膜製程中化學活性物種濃度即時回授控制研究
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- 資料識別：
- A09061200
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃振榮 張家豪
- 主題與關鍵字：
- 電漿輔助化學氣相沉積 製程飄移 電漿放射光譜 回授控制 Plasma enhanced chemical vapor deposition PECVD Process drift Optical emission spectroscopy OES Feedback control
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:314 2009.05[民98.05]
- 頁次:頁81-87
- 日期：
- 20090500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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