熱燈絲化學氣相沈積法技術簡介

推薦分享

Share

資源連結

連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)

後設資料

資料識別:
A09061197
資料類型:
期刊論文
著作者:
王慶鈞 王瑞豪 毛信元 武東星
主題與關鍵字:
低溫多晶矽 熱燈絲化學氣相沉積 電漿輔助化學氣相沉積 薄膜太陽電池 Low temperature poly silicon Hot-wire chemical vapor deposition Plasma enhanced chemical vapor deposition Thin film solar cell
描述:
來源期刊:機械工業
卷期:314 2009.05[民98.05]
頁次:頁58-64
日期:
20090500
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

引用這筆典藏 引用說明

引用資訊
直接連結

評分與驗證

請為這筆數位資源評分

star star star star star

推薦藏品

臺灣新文學史(6)--寫實文學與批判...
總計畫:中藥材輻射滅菌劑量之評估研究...
如何妥善因應及減少慢性C型肝炎病患在...
白話散文與雜文--《中國現代文學的兩...
臺港華語電影類型的發展及其意義
IC光阻材料技術發展