熱燈絲化學氣相沈積法技術簡介
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A09061197
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王慶鈞 王瑞豪 毛信元 武東星
- 主題與關鍵字：
- 低溫多晶矽 熱燈絲化學氣相沉積 電漿輔助化學氣相沉積 薄膜太陽電池 Low temperature poly silicon Hot-wire chemical vapor deposition Plasma enhanced chemical vapor deposition Thin film solar cell
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:314 2009.05[民98.05]
- 頁次:頁58-64
- 日期：
- 20090500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
