原子層沉積技術的沿革
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- 資料識別：
- A09061196
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李侃峰 黃智勇 王慶鈞
- 主題與關鍵字：
- 原子層沉積 電漿輔助原子層沉積 太陽能電池 Atomic layer deposition Plasma enhanced atomic layer deposition Solar cell
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:314 2009.05[民98.05]
- 頁次:頁51-57
- 日期：
- 20090500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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