The Argon Gas-Based Rapid Thermal Processing for TiSi[9058] Phase Transformation
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- 資料識別：
- A09061075
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Chen， Ping-hsun Chen， Ta-te Shih， Han-chang
- 主題與關鍵字：
- Semiconductors Heat treatment Electron microscopy Electrical properties
- 描述：
- 來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
- 卷期:11:2 2008.06[民97.06]
- 頁次:頁229-232
- 日期：
- 20080600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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