The Pretreatment Effects on Gate Oxide Quality of a Trench-Typed MOSFET Device
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- 資料識別：
- A09060988
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Jaw， Kuo-liang Chen， Ping-hsun
- 主題與關鍵字：
- Power devices Gate oxide Sacrificial oxidation Etching
- 描述：
- 來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
- 卷期:11:3 2008.09[民97.09]
- 頁次:頁233-238
- 日期：
- 20080900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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