即時薄膜光學檢測之光譜分析
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- 資料識別：
- A09042736
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全
- 主題與關鍵字：
- 矽膜 準分子雷射退火 光學檢測 光譜分析 Silicon thin films Excimer laser annealing Optical inspection Spectrum analysis
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:15:3=164 2009.03[民98.03]
- 頁次:頁139-150
- 日期：
- 20090300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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