半導體晶圓級電化學沈積系統之設計考量
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- 資料識別：
- A09042705
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 許明哲 詹印豐 顏錫鴻
- 主題與關鍵字：
- 極限電流密度 擴散邊界層 質量傳輸 電場和尖端效應 晶種層 接觸電阻 Limiting current density Diffusion boundary layer Mass transfer Electric potential and terminal effect Seed layer Contact resistance
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:15:3=164 2009.03[民98.03]
- 頁次:頁88-96
- 日期：
- 20090300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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