微影蝕刻黃光室的製程照明設備
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- 資料識別：
- A09037994
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 謝宏元(Hsieh， H. Y.)
- 主題與關鍵字：
- 黃光室 微影蝕刻 固態照明 螢光粉轉換 Yellow room Photolithography Solid-state lighting Phosphor converted
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:269 2009.05[民98.05]
- 頁次:頁95-99
- 日期：
- 20090500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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