非接觸式多孔性氣浮平臺技術介紹
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- 資料識別：
- A09037212
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李有璋 余欽章 蔡瑞益
- 主題與關鍵字：
- 非接觸式多孔性氣浮平臺 玻璃基板 TFT-LCD面板
- 描述：
- 來源期刊:光連
- 卷期:78 2008.11[民97.11]
- 頁次:頁45-50
- 日期：
- 20081100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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