Development of a 2-axis Closed Loop Micro-/Nano- Positioning Stage Embedded with 2 Fiber Optical Interferometer Systems
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- 資料識別：
- A09035806
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 修芳仲(Shiou， Fang-jung) 許學豐(Hsu， Hsuen-feng) 陳朝榮(Chen， Chao-jung) 劉惠中(Liou， Huay-chung)
- 主題與關鍵字：
- Piezoelectric actuator Micro-/nano-positioning stage Fiber optical interferometer system ANSYS Double compound leaf spring 二軸閉迴路微／奈米定位平臺 光纖干涉儀量測系統 PID控制
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:29:6 2008.12[民97.12]
- 頁次:頁497-502
- 日期：
- 20081200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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