飛秒雷射加工矽晶圓之特性研究
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A09035492
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳秉翰 沈威志 簡志維 鄭中緯
- 主題與關鍵字：
- 飛秒雷射 雷射鑽孔 雷射切割 雙溫模型 Femtosecond laser Laser drilling Laser cutting Two-temperature model
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:311 2009.02[民98.02]
- 頁次:頁12-21
- 日期：
- 20090200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
