超淺接面的形成--先進離子佈植退火製程
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- 資料識別：
- A09033186
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 呂侑倫 趙天生 薛富國 李耀仁
- 主題與關鍵字：
- 超淺接面 快速高溫退火 雷射退火 微波退火 Ultra-shallow junction Spike annealing Millisecond laser annealing Microwave annealing
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:16:1 2009.03[民98.03]
- 頁次:頁25-30
- 日期：
- 20090300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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