金屬閘極與多晶矽閘極在高介電常數閘極介電層N型金氧半場效電晶體之研究
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- 資料識別：
- A09025988
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳啟文(Chen， Chii-wen) 黃厚智(Huang， Hou-jhih) 陳穎達(Chen， Ying-da) 賴信誠(Lai， Hsin-cheng) 葉文冠(Yeh， Wen-kuan) 陳育廷(Chen， Yu-ting)
- 主題與關鍵字：
- 高介電常數 金屬閘極 Metal gate High-k dielectric
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:35:1 2009.02[民98.02]
- 頁次:頁57-61
- 日期：
- 20090200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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