以SEM及AFM進行多孔矽材料在拋光蝕刻及電解蝕刻之表面微觀研究
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- 資料識別：
- A09020173
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林嘉洤(Lin， J. C.) 陳奕鴻(Chen， Y. H.)
- 主題與關鍵字：
- 陽極電化學蝕刻 多孔矽 電子顯微鏡 原子力顯微鏡 SEM AFM Anodization electrochemistry etching Porous silicon
- 描述：
- 來源期刊:華岡工程學報
- 卷期:23 2009.01[民98.01]
- 頁次:頁41-47
- 日期：
- 20090100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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