GST相變化材料的薄膜製程研究
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- 資料識別：
- A09017100
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李文德(Lee， Win-der) 王錫九(Wang， Shea-jue) 鄭柏暉 賴衍中 呂書豪 黃士哲 李鎮宇 朱瑞龍
- 主題與關鍵字：
- 濺鍍 相變化材料 GST薄膜 Phase change material GST thin films DC sputter RF sputter
- 描述：
- 來源期刊:黎明學報
- 卷期:20:2 2009.01[民98.01]
- 頁次:頁37-41
- 日期：
- 20090100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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