在矽基板上高電阻係數之氧化鋅濕度感測材料之研製
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- 資料識別：
- A09014438
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊誌欽(Yang， Chih Chin) 李哲偉(Lee， Je Wei) 楊宏裕(Yang， Hung Yu) 李依璇(Lee， Yu Shan) 許宏嶸(Syu， Hong Rong)
- 主題與關鍵字：
- 氧化鋅 濺鍍 矽製程 Zinc oxide Sputter Silicon fabrication
- 描述：
- 來源期刊:國立高雄海洋科技大學學報
- 卷期:23 2009.02[民98.02]
- 頁次:頁121-130
- 日期：
- 20090200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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