利用射頻濺鍍系統備製氧化銦錫薄膜於延伸式閘極離子感測場效電晶體之研究
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- 資料識別：
- A09014424
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 江榮隆(Chiang， Jung-lung) 黃安立(Huang， An-li) 詹勳生(Jhan， Syun-sheng)
- 主題與關鍵字：
- 射頻濺鍍 氧化銦錫 延伸式閘極場效電晶體 感測度 R.F. sputtering ITO EGFET Sensitivity
- 描述：
- 來源期刊:國立高雄海洋科技大學學報
- 卷期:23 2009.02[民98.02]
- 頁次:頁79-89
- 日期：
- 20090200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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